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Deposizione ed Etching
Aixtron
Sistemi per MOCVD, Atomic Layer Deposition, impianti dedicati per deposizioni speciali (SiGe, FeRAM, OLED, GaN...).
Veeco
Sorgenti Ioniche, DC - DC Catodo "Hollow " , Radio Frequenza
Sentech
Sistemi per
- "etching" reattivo : RIE - ICPRIE
- deposizione assistita da plasma : PECVD - ICPECVD
Lesker
Sistemi di deposizione per evaporazione, sputtering ed e-beam, di materiali organici (es. OLED) ed inorganici (es. Combinatorial Material Science, CMS). Ampio range di configurazioni, da sistemi semplici e semi-automatici a sistemi complessi "cluster" comp
Laurell
Spin Coaters, Etching/Developing/Cleaning, Wet Stations, Rinser/Dryers
Diener
Sistemi di trattamento al plasma per la pulizia, l'attivazione e l'etching di superfici di vario genere, in aria o in atmosfera controllata