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Aixtron
Sistemi per MOCVD, Atomic Layer Deposition, impianti dedicati per deposizioni speciali (SiGe, FeRAM, OLED, GaN...), Black Magic per deposizione grafene e CNT.

Sentech

Atomic Layer Deposition Sentech
Sentech produce sistemi per deposizione tramite ALD (Atomic Layer Deposition) di film di ossidi, metalli e nitruri, in configurazione ALD termico e plasma-ALD.

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Sistemi per - "etching" reattivo : RIE - ICPRIE - deposizione assistita da plasma : PECVD - ICPECVD

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Sistemi di deposizione per evaporazione, sputtering ed e-beam, di materiali organici (es. OLED) ed inorganici (es. Combinatorial Material Science, CMS). Ampio range di configurazioni, da sistemi semplici e semi-automatici a sistemi complessi "cluster" comp

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